產品描述
FFKM FLS-7753B主要用於半導體晶圓製造業、平面顯示器製造業及石油化學工業。
本產品對於強酸、強鹼、有機溶劑化學品及高溫蒸汽等等嚴苛環境中,均能表現出極優越穩地的特性。
FFKM FLS-7753B和Kalrez 6375具有相同品質,請參照下方物理特性比較表格。
特性與優點
最高連續使用溫度可達280 °C
長時間、穩定並優異的高溫密封性能
傑出的產品物理性能
極佳的化學耐受性
建議應用位置
反應槽密封件 (Chamber, Lid seals)
管線接頭密封件 (Fitting Seals)
氣體管線密封件 (Gas Inlet, Outlet
Seals)
閥件密封件 (Valve Seals)
建議應用製程
反應槽
化學液體及蒸汽輸送
控制閥
濕式蝕刻製程 (Wet Etch)
濕式清洗製程 (Wet Clean)
FFKM產品和Kalrez比較表
FFKM產品和Kalrez比較表
|
物理特性
|
FFKM
FLS-8701B
|
Kalrez®4079
|
硬度, Shore A
|
73
|
75
|
顏色
|
Black
|
Black
|
100% Modulus,
psi
|
751
|
1049
|
抗拉力, Mpa
|
15.9
|
15.16
|
伸長率, %
|
229.7
|
160
|
壓縮變形率, % (70hr at 200°C)
|
36.9
|
25
|
最高連續使用溫度 (°C)
|
280
|
275
|