Kalrez vs. FFKM:兩者是一樣的嗎?
Kalrez® 是 DuPont 所開發的經典 FFKM 品牌,但近年已有多家供應商能提供效能相當甚至超越的選擇。根據一篇探討半導體等級 FFKM 市場的 LinkedIn 文章 指出,目前已有供應商可提供:
「等同甚至更佳的等離子抗性、高純度配方,以及廣泛的化學相容性。」
來源:LinkedIn:半導體等級 FFKM O 型環市場機會分析
FLS 的 FFKM O 型環採用來自 DuPont、3M、Daikin、Solvay 等國際知名原料,並具備可與 Kalrez 相媲美的實績,已廣泛應用於半導體蝕刻製程、晶圓設備、乾式真空幫浦等設備中。