產品描述
FFKM FLS-7753B主要用於半導體晶圓製造業、平面顯示器製造業及石油化學工業。
本產品對於強酸、強鹼、有機溶劑化學品及高溫蒸汽等等嚴苛環境中，均能表現出極優越穩地的特性。
FFKM FLS-7753B和Kalrez 6375具有相同品質，請參照下方物理特性比較表格。
特性與優點
最高連續使用溫度可達280 °C
長時間、穩定並優異的高溫密封性能
傑出的產品物理性能
極佳的化學耐受性
建議應用位置
反應槽密封件 (Chamber, Lid seals)
管線接頭密封件 (Fitting Seals)
氣體管線密封件 (Gas Inlet, Outlet
Seals)
閥件密封件 (Valve Seals)
建議應用製程
反應槽
化學液體及蒸汽輸送
控制閥
濕式蝕刻製程 (Wet Etch)
濕式清洗製程 (Wet Clean)
FFKM產品和Kalrez比較表
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FFKM產品和Kalrez比較表
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物理特性
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FFKM
FLS-8701B
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Kalrez®4079
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硬度, Shore A
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73
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75
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顏色
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Black
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Black
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100% Modulus,
psi
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751
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1049
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抗拉力, Mpa
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15.9
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15.16
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伸長率, %
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229.7
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160
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壓縮變形率, % (70hr at 200°C)
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36.9
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25
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最高連續使用溫度 (°C)
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280
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275
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