產品敘述
FFKM FLS-7750W 為全氟醚彈性體，主要應用於半導體濕式蝕刻製程、化工廠和石化業的耐酸鹼液體及高溫蒸氣，FFKM FLS-7750W具極佳的抗化性，在強酸鹼的化學液體中仍能表現其穩定的物理特性。
FFKM FLS-7750W和Kalrez 6221具有相同品質，請參照下方物理特性比較表格。
全氟醚彈性體特性與優點
最高連續使用溫度可達250℃
長時間、穩定定優異的高溫密封性能
傑出的物理特性
極佳的化學耐受性
建議應用
反應槽密封件 (Chamber, Lid seals)
管線接頭密封件 (Fitting Seals)
氣體管線密封件 (Gas Inlet, Outlet Seals)
閥件密封件 (Valve Seals)
建議製程
反應槽
化學液體及蒸汽輸送
濕式蝕刻製程 (Wet Etching)
控制閥
FFKM產品和Kalrez比較表
FFKM產品和Kalrez比較表
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物理特性
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FFKM
FLS-7750W
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Kalrez® 6221
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硬度, Shore A
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73
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70
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顏色
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White
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White
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100% Modulus, psi
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654
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1049
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抗拉力, Mpa
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10.3
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15.16
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伸長率, %
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191
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150
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壓縮變形率, % (70hr at 200°C)
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25.2
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27
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最高連續使用溫度 (°C)
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250
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260
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